沈阳拓荆科技有限公司
该申请人涉及专利文献：418，涉及专利：376件
覆盖主要的IPC大类包括：H01(168)、C23(146)、G01(34)、F16(17)、H05(12)、B25(11)、B65(10)、C30(4)、B05(3)、B01(3)
专利类型分布状况：发明公开(258)、实用新型(94)、发明申请(22)、外观设计(2)
专利不同法律状态数据分布状况：无效专利(173)、失效专利(94)、有效专利(86)、公开(22)、实质审查(1)
该领域主要的发明人有：吕光泉(43)、吴凤丽(40)、陈英男(35)、凌复华(31)、柴智(29)、王燚(20)、续震(18)、刘忆军(17)、周仁(16)、荒见淳一(11)
详细地址：中国 辽宁省 沈阳市 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层 110179
相关专利文献 (418件)
| 专利类型 | 专利名称 | 文献号 |
|---|---|---|
| 发明授权 | 晶圆承载盘及其支撑结构 | CN107749407B |
| 发明公开 | 一种提高硅片温度均匀性的加热系统 | CN111403316A |
| 发明公开 | 用于半导体射频处理装置的温度测量方法 | CN111238669A |
| 发明授权 | 一种气体分流合流装置 | CN107988587B |
| 发明授权 | 负载腔室及其使用该负载腔室之多腔室处理系统 | CN105789091B |
| 发明公开 | 用于半导体制造的化学品加热装置 | CN110993532A |
| 发明授权 | 一种用于等离子体处理设备的RF讯号传递装置 | CN107564792B |
| 发明授权 | 顶针支板调整工装结构及调平方法 | CN106571330B |
| 发明授权 | 一种半导体加工设备的液体流量校准系统及校准方法 | CN107731720B |
| 发明公开 | 多段喷淋组件 | CN110158055A |
近10年该领域专利申请趋势
专利分类情况
IPC分类
核心专利文献
相关企业
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 440 |
相关发明人
| 排名 | 发明人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 吕光泉 | 43 |
| 2 | 吴凤丽 | 40 |
| 3 | 陈英男 | 35 |
| 4 | 凌复华 | 31 |
| 5 | 柴智 | 29 |
| 6 | 王燚 | 20 |
| 7 | 续震 | 18 |
| 8 | 刘忆军 | 17 |
| 9 | 周仁 | 16 |
| 10 | 荒见淳一 | 11 |
相关代理机构
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 沈阳维特专利商标事务所 | 393 |
| 2 | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) | 21 |
| 3 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 11 |
| 4 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 10 |
| 5 | 沈阳杰克知识产权代理有限公司 | 5 |
相关代理人
| 排名 | 代理人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 甄玉荃 | 278 |
| 2 | 霍光旭 | 141 |
| 3 | 李绪岩 | 62 |
| 4 | 陈福昌 | 52 |
| 5 | 刘锋 | 8 |
| 6 | 白振宇 | 7 |
| 7 | 屈芳 | 6 |
| 8 | 李丹 | 6 |
| 9 | 金春华 | 5 |
| 10 | 张志伟 | 4 |
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