相关专利文献 (133件)
| 专利类型 | 专利名称 | 文献号 |
|---|---|---|
| 发明授权 | 微波等离子体反应装置和薄膜沉积方法、存储介质 | CN122189612B |
| 发明公开 | 微波等离子体反应装置和薄膜沉积方法、存储介质 | CN122189612A |
| 发明授权 | 一种半导体喷淋板中的限流装置 | CN115863221B |
| 发明授权 | 一种液态蒸发罐设备以及液态化学源输送系统 | CN117926218B |
| 发明公开 | 一种远程等离子体源装置及薄膜沉积设备 | CN120158732A |
| 发明授权 | 一种UV微波屏蔽结构和反应腔设备 | CN114256111B |
| 发明公开 | 一种液态源的汽化状态监测装置及方法 | CN117589764A |
| 发明公开 | 一种液态源的汽化状态监测装置及方法 | CN117571708A |
| 发明授权 | 制造半导体薄膜的装置和方法 | CN114686849B |
| 发明授权 | UV光检测结构及UV处理设备 | CN114323263B |
近10年该领域专利申请趋势
专利分类情况
IPC分类
核心专利文献
相关企业
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 拓荆科技股份有限公司 | 37 |
| 2 | 重庆市库格尔电子有限公司 | 31 |
| 3 | 四川农业大学 | 21 |
| 4 | 拓荆科技(上海)有限公司 | 12 |
| 5 | 光垒光电科技(上海)有限公司 | 11 |
| 6 | 光达光电设备科技(嘉兴)有限公司 | 5 |
| 7 | 南方海洋科学与工程广东省实验室(湛江) | 4 |
| 8 | 拓荆科技(青岛)有限公司 | 4 |
| 9 | 谭华强 | 4 |
| 10 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 3 |
相关发明人
| 排名 | 发明人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 谭华强 | 133 |
相关代理机构
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 重庆强大凯创专利代理事务所 | 29 |
| 2 | 上海专利商标事务所有限公司 | 28 |
| 3 | 成都玖和知识产权代理事务所 | 17 |
| 4 | 上海思微知识产权代理事务所 | 15 |
| 5 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 9 |
| 6 | 沈阳维特专利商标事务所 | 7 |
| 7 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 5 |
| 8 | 成都帝鹏知识产权代理事务所 | 4 |
| 9 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 3 |
| 10 | 深圳市精英创新知识产权代理有限公司 | 3 |
相关代理人
| 排名 | 代理人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 黄书凯 | 29 |
| 2 | 黎祖琴 | 17 |
| 3 | 徐伟 | 15 |
| 4 | 郑玮 | 15 |
| 5 | 陕芳芳 | 9 |
| 6 | 徐迪 | 8 |
| 7 | 林彦 | 5 |
| 8 | 黎照西 | 4 |
| 9 | 罗森宝 | 3 |
| 10 | 陶玉龙 | 3 |
意见反馈
使用该功能遇到问题
该功能需要及以上VIP权限，您可以升级对应版本VIP后使用
功能
- 基础专利检索
- 查看专利基本信息
- 基础的专利数据分析
- 个人工作空间
功能亮点
- 高级检索支持高级检索、批量检索、法律状态检索等
- 深度数据支持相似专利、引证、法律案件、附图等数据查看
- 效率工具双屏对比、专利PDF全文下载、批量导出