沈阳拓荆科技有限公司
该申请人涉及专利文献：418，涉及专利：376件
覆盖主要的IPC大类包括：H01(168)、C23(146)、G01(34)、F16(17)、H05(12)、B25(11)、B65(10)、C30(4)、B05(3)、B01(3)
专利类型分布状况：发明公开(258)、实用新型(94)、发明申请(22)、外观设计(2)
专利不同法律状态数据分布状况：无效专利(173)、失效专利(94)、有效专利(86)、公开(22)、实质审查(1)
该领域主要的发明人有：吕光泉(43)、吴凤丽(40)、陈英男(35)、凌复华(31)、柴智(29)、王燚(20)、续震(18)、刘忆军(17)、周仁(16)、荒见淳一(11)
详细地址：中国 辽宁省 沈阳市 辽宁省沈阳市浑南新区新源街1-1号三层 110179
相关专利文献 (418件)
| 专利类型 | 专利名称 | 文献号 |
|---|---|---|
| 发明公开 | 原子层沉积设备 | CN112111729A |
| 发明授权 | 一种半导体镀膜设备用的便于更换的晶圆承托机构 | CN106298624B |
| 发明授权 | 液体汽化装置及使用该液体汽化装置的半导体处理系统 | CN108277477B |
| 发明授权 | 一种带有金属夹紧结构的陶瓷挡板 | CN106505009B |
| 发明授权 | 一种多进口空腔加热支撑架 | CN106611733B |
| 发明公开 | PE-CVD反应器喷淋板的加热系统 | CN111411348A |
| 发明公开 | 一种晶圆表面的清洗方法 | CN111312584A |
| 发明公开 | 晶圆传输装置 | CN111211082A |
| 发明公开 | 热隔离之晶圆支撑装置及其制造方法 | CN111199902A |
| 发明公开 | 加热装置及温度控制喷淋组件 | CN111001503A |
近10年该领域专利申请趋势
专利分类情况
IPC分类
核心专利文献
相关企业
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 沈阳拓荆科技有限公司 | 440 |
相关发明人
| 排名 | 发明人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 吕光泉 | 43 |
| 2 | 吴凤丽 | 40 |
| 3 | 陈英男 | 35 |
| 4 | 凌复华 | 31 |
| 5 | 柴智 | 29 |
| 6 | 王燚 | 20 |
| 7 | 续震 | 18 |
| 8 | 刘忆军 | 17 |
| 9 | 周仁 | 16 |
| 10 | 荒见淳一 | 11 |
相关代理机构
| 排名 | 企业名称 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 沈阳维特专利商标事务所 | 393 |
| 2 | 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) | 21 |
| 3 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 11 |
| 4 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 10 |
| 5 | 沈阳杰克知识产权代理有限公司 | 5 |
相关代理人
| 排名 | 代理人 | 专利 |
|---|---|---|
| 1 | 甄玉荃 | 278 |
| 2 | 霍光旭 | 141 |
| 3 | 李绪岩 | 62 |
| 4 | 陈福昌 | 52 |
| 5 | 刘锋 | 8 |
| 6 | 白振宇 | 7 |
| 7 | 屈芳 | 6 |
| 8 | 李丹 | 6 |
| 9 | 金春华 | 5 |
| 10 | 张志伟 | 4 |
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